高分辨无掩模直写光刻机
微电子打印机
多层电路微电子打印机
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快速光烧结系统
研究级狭缝涂布仪
台式无掩模光刻机
专注于配套电镜，电子探针，XPS等高真空原位等离子技术超过50年，特别是针对电子束，离子束等在高真空下易产生积碳应用场景下等离子清洗设备的开发，其专利的低压等离子环绕技术可以极大程度降低等离子体对样品表面的损伤，且高效的清洁，其Evactron系列全球销售总量超过上万台。
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电镜镀膜仪,印刷电子,柔性印刷电子,微电子打印机,纳米材料沉积,气溶胶打印
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