离子溅射仪的操作步骤
离子溅射仪的操作: 1、一般工作距离可调,距离越近,溅射速度越快,但热损伤会增加。 2、离子流的大小通过控制真空压力实现,真空度越低,I越大,溅射速度越快,原子结晶晶粒越粗,电子轰击样品(阳极)产生的热量越高;真空度越3、高,I越小,溅射速度越慢,原子结晶晶粒越细小,电子轰击样品产生的热量小。 4、加速电压为固定,也有可调的,加速电压越高,对样品热损伤越大。一般使用金属靶材的正比区域。 5、有...
离子溅射仪的操作: 1、一般工作距离可调,距离越近,溅射速度越快,但热损伤会增加。 2、离子流的大小通过控制真空压力实现,真空度越低,I越大,溅射速度越快,原子结晶晶粒越粗,电子轰击样品(阳极)产生的热量越高;真空度越3、高,I越小,溅射速度越慢,原子结晶晶粒越细小,电子轰击样品产生的热量小。 4、加速电压为固定,也有可调的,加速电压越高,对样品热损伤越大。一般使用金属靶材的正比区域。 5、有...
直流冷阴极二极管式,靶材处于常温,加负高压1-3kv,阳极接地。当接通高压,阴极发射电子,电子能量增加到1-3kev,轰击低真空中(3-10pA)的气体,使其电离,激发出的电子在电场中被加速,继续轰击气体,产生联级电离,形成等离子体。离子以1-3kev的能量轰击阴极靶,当其能量高于靶材原子的结合能时,靶材原子或者原子簇,脱离靶材,又经过与等离子体中的残余气体碰撞,因此方向各异,当落在样品表面时,可以在粗糙的样品表面形...
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